Решение по результатам проведения технического семинара "Новое вакуумное технологическое оборудование для производства ЭКБ"

Начиная с марта 2007 года АО «Мосэлектронпроект» организует и ежемесячно проводит, на своей площадке, технические семинары  по актуальным проблемам технологии производства электронной компонентной базы (далее ЭКБ) и радиоэлектронной аппаратуры, включая разработку и производство технологического и металлообрабатывающего оборудования, материалов, чистых технологических сред, а также «чистых» производственных помещений. Целью таких семинаров является повышение информированности и осведомленности технических специалистов отечественных предприятий радиоэлектронной промышленности и возможность получения из «первых рук» свежей информации по указанным выше проблемам, а также возможность более квалифицированно анализировать и продуманно выбирать оборудование, технологию и материалы для реконструкции и технического перевооружения предприятий с целью глубокой модернизации производства электронной компонентной базы и импортозамещения. В качестве докладчиков на проводимых АО «Мосэлектронпроект» семинарах выступают как ведущие специалисты– разработчики  отечественных предприятий - производителей технологического оборудования, так и высококвалифицированные специалисты и руководители крупных зарубежных фирм.

Очередной семинар из цикла рассмотрения проблем организации производства ЭКБ на тему «Новое вакуумное технологическое оборудование для производства ЭКБ» состоялся 07 апреля 2016 года. Тема семинара была выбрана на основе обращения к руководителю холдинговой компании АО «Росэлектроника» И.И. Козлову временного генерального директора ОАО «Проектмашдеталь» В.Н. Цхай с просьбой рассмотреть компетенции организации как производителя и поставщика высокотехнологических вакуумных напылительных и плазмохимических промышленных установок серии «НИКА» и соответствующего поручения в адрес АО «Мосэлектронпроект» заместителя генерального директора АО «Росэлектроника» А.М. Кочнева.

В процессе подготовки и организации семинара выяснилось, что установки серии «НИКА» разработала и выпускает фирма ООО «Лаборатория вакуумных технологий» (г. Зеленоград) для замены устаревшего вакуумно-технологического оборудования типа УВН-71 П3, УВН-73 П1, УВН-74 и УВН-75, которые, тем не менее, широко применяются до настоящего времени предприятиями радиоэлектронной промышленности, входящими в состав ГК «Ростех» и АО «Росэлектроника», АО «КРЭТ», АО «ОПК», АО «Концерн «Созвездие», АО «Вега» и других, для производства ЭКБ, а также предприятиями других отраслей.

Справочно:

-         УВН-71 П3 – полуавтоматическая резистивная вакуумная установка, предназначена для отработки технологии напыления и серийного производства пленочных элементов интегральных микросхем. Серийное производство начато с 1973 года;

-          УВН-2М2 – установка вакуумного напыления тонких слоев металлов, полупроводников и диэлектриков, разработанная НИИТМ (г. Зеленоград), была освоена в серийном производстве ПО «Кварц» (г. Калининград) в 1969 году;

-         УВН-74П-3   - предназначена для двухсторонней металлизации поликоровых подложек электронным и резистивным испарением. Год начала серийного производства – 1970;

-          УВН-75 П-1 – предназначена для получения многослойных тонкопленочных покрытий на кремниевые пластины с помощью электронных и ионно-плазменных испарений. Серийное производство – начиная с 1977 года.

На семинаре были заслушаны доклады ведущих специалистов-разработчиков ООО «Лаборатория вакуумных технологий» (далее ООО «ЛВТ»): генерального конструктора Берлина Евгения Владимировича и Григорьева Василия Юрьевича – заместителя генерального директора по научной деятельности, по двум направлениям:

-       установки серии «НИКА-2012» как современная замена установок колпакового типа:  УВ 71, УВН 2М2 и т.п.;

-       установки серии «НИКА-2013» в качестве замены установок типа: УВН 73, УВН 74 и УВН 75 – под все виды покрытий.

Кроме того, были рассмотрены также технологии, реализуемые на предлагаемых установках и основные комплектующие узлов и агрегатов для выпуска: ионные источники, магнетроны, блоки питания термических испарителей и вакуумметры цифровые.

• Установка Ника -2012-500 является современным аналогом установки УВН-71 П3, всех ее возможных модификаций. Современная элементная база, безмаслянная откачка, полная автоматизация, компактность и небольшой вес.  Установка имеет все необходимые наборы технологических устройств для реализации любых технологических процессов, ранее реализованных на УВН-71. Кроме этого, есть и технологические устройства, перспективные для реализации новых техпроцессов (осаждение защитных диэлектрических покрытий, сухое травление РС и меди, магнетронное напыление РС и т. д.).
• Установка Ника -2013 является современным аналогом установки УВН-73 П1,УВН-74, УВН-75 и всех их возможных модификаций. Современная элементная база, безмаслянная откачка, полная автоматизация, компактность и небольшой вес.  Установка имеет все необходимые наборы технологических устройств для реализации любых технологических процессов, ранее реализованных на УВН-73(74,75). Кроме этого, есть и технологические устройства, перспективные для реализации новых техпроцессов (осаждение защитных диэлектрических покрытий, сухое травление РС и меди, магнетронное напыление РС и т. д.)

         Установки состоят из Узлов и агрегатов, выпускаемых в России (не менее чем на 90%). При этом импортными являются только не критические узлы, которые при необходимости, могут быть заменены полностью на российские.

         В обеих сериях Ника-2012 и 2013 разработаны по 3 модификации: напылительные установки РС (резистивные слои) и ПС (проводящие слои), плазмохимические МО/МТ (магнетронное осаждение/травление).

Во время докладов участники семинара, а их присутствовало более 30 человек из различных предприятий радиоэлектронного комплекса России, таких как: ОАО «НПП «Пульсар», АО «ГЗ «Пульсар», АО «НПП «Исток» им. Шокина, НПО «Измерительная техника», АО «Авангард», ОАО «ОКБ-Планета», АО "Российские космические системы" и в/ч 35533 (ФСБ), высоко оценили разработанные ООО «Лаборатория вакуумных технологий» установки серии «НИКА-2012» и серии «НИКА-2013» и единодушно выразили крайнюю заинтересованность предприятий на данном этапе развития ЭКБ в России в их серийном выпуске взамен устаревших вакуумно-технологических установок, таких как: УВН-71, УВН-73…75, «Оратория-9», УВН-70 и УВН-79.

РЕШЕНО:

1. Учитывая большие технические возможности разработанного ООО «ЛВТ» оборудования, спектр применения вакуумно-технологического и плазмохимического оборудования серии «НИКА» для производства отечественной ЭКБ, участники семинара единодушно поддерживают инициативу ОАО «Проектмашдеталь» организовать серийный выпуск и выступить на российском рынке специального технологического оборудования (СТО) в качестве производителя и поставщика высокотехнологичного вакуумно-технологического оборудования для замены устаревшей вакуумной техники, которая до настоящего времени широко используется в производстве и давно требует замены.
2. Предложить рассмотреть возможность при корректировке принятых в рамках Концепции направлений развития электронного машиностроения для ЭКБ, включить в перечень предприятий – производителей и поставщиков СТО для производства отечественной ЭКБ, ОАО «Проектмашдеталь» с обеспечением необходимого высокого качества выпускаемой продукции, а также гарантийного и сервисного обслуживания.